Galimi MH Niobium Target grynumo laipsniai

99,95 % (4N) niobio taikinys

● Itin-aukšto grynumo su itin mažai metalinių ir dujinių priemaišų

● Stabili plazma, mažai dalelių

● Tinka puslaidininkinėms, superlaidžioms ir aukštos{0} klasės elektroninėms juostoms

99,9 % (3N) niobio taikinys

● Didelis grynumas ir puikus kainos{0}}našumo santykis

● Patikimas purškimo stabilumas pramoninėms dangoms

● Tinka bendroms elektroninėms, optinėms ir funkcinėms dangoms

MH niobio tikslinės formos

Mes tiekiame kelių geometrijų niobio taikinius, kad atitiktų skirtingas purškimo sistemas:

Stačiakampis / kvadratinis taikinys

● Plokštumos purškimo sistemos

● Magnetroniniai dulkinimo katodai

● Didelis{0}}plotas vienodas plėvelės nusodinimas

Vamzdinis taikinys

● Rotacinės purškimo sistemos

● Didesnis tikslinis panaudojimo lygis

● Geresnis dangos tolygumas ir gamybos efektyvumas

(Pagal pageidavimą galimi pasirinktiniai matmenys ir klijavimo galimybės.)

MH niobio tikslinių specifikacijų diapazonas

Grynumas	99.9%, 99.95%
Tankis	Didesnis arba lygus 99,9 % teorinio tankio
Grūdų struktūra	Puikus ir vienodas
Paviršiaus apdaila	Ra0.4
Stačiakampis / kvadratinis taikinys	Ilgis mažesnis arba lygus 3000 mm, plotis mažesnis arba lygus 800 mm, storis (mm) 1–20 mm
Vamzdinis taikinys	Išorinis skersmuo 10-400mm, Sienos 2-28mm

99,95 % prieš 99,9 % – atrankos vadovas

Prekė	99,95 % Nb Tikslas	99,9 % Nb Tikslas
Grynumo lygis	Itin{0}}aukšto grynumo (4N)	Didelio grynumo (3N)
Priemaišų kiekis	Itin žemas	Žemas
Filmo kokybė	Didžiausias vienodumas ir stabilumas	Stabilus, pramoninės{0}}klasės
Dalelių generavimas	Minimalus	Žemas
Tipinės programos	Puslaidininkiai, superlaidžios plėvelės, moksliniai tyrimai ir plėtra	Optinės dangos, funkcinės plėvelės, masinė gamyba
Išlaidų lygis	Aukštesnis	Ekonomiškesnis

Stačiakampis vs vamzdinis taikinys – pasirinkimo vadovas

Palyginimas	Stačiakampis / kvadratinis taikinys	Vamzdinis taikinys
Proceso suderinamumas	Plokštuminis purškimas, magnetroninis purškimas	Cilindrinis purškimas
Medžiagos panaudojimas	20%~30%	70%~85%
Pirkimo kaina	Vidutinis	Daug aukštesnis už plokštelinius taikinius
Gamybos efektyvumas	Mažos partijos, kelių{0}}įvairių dangų	Didelės partijos ir nuolatinės dangos
Paviršiaus apdorojimas	Smulkus šlifavimas ir poliravimas	Smulkus šlifavimas, sunkiau
Siūlomos medžiagos	Grynas niobis (99,95%), Nb-1Zr	Grynas niobis (99,95%), Nb-1Zr (specialios paskirties aukštos temperatūros)

MH niobio tikslinės tipinės programos

Puslaidininkinės plonos plėvelės

Superlaidžios niobio dangos

Optinės ir dekoratyvinės dangos

Ekranas ir elektroniniai prietaisai

Tyrimai ir pažangūs funkciniai filmai

Kodėl verta rinktis MH niobio taikinius

● Didelis grynumas ir stabilus purškimas

● Vienoda mikrostruktūra ir didelis tankis

● Galimos kelios geometrijos: stačiakampės ir vamzdinės

● Individualūs matmenys ir klijavimo sprendimai

● Įrodytas naudojimas pažangiose dengimo srityse

Mūsų niobio purškimo taikiniai užtikrina patikimą grynumą, nuoseklų purškimą ir aukštos -kokybės plėvelės našumą, kai reikia naudoti sudėtingas plonas plėveles.